Koko puolijohdeteollisuuden ketjussa jalostus ja valmistus on yksi tärkeimmistä lenkistä. Näin valtavilla markkinoilla puolijohdeprosessilaitteet tarjoavat valmistuspohjan puolijohde-laajamittaiseen valmistukseen. Tässä asiakirjassa keskitytään puolijohdetuotantoprosessin tärkeimpiin laitteisiin.
1, yksi kristalliuuni
Laitteen toiminta: sulata puolijohdemateriaalit, vedä yksi kristalli, seuraavaa puolijohdelaitteen valmistusta varten, anna yksi kristalli puolijohde billet.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: PVA TePla AG (Saksa), Ferrotec (Japani), QUANTUM DESIGN (YHDYSVALLAT), Gero (Saksa), KAYEX (Yhdysvallat).
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Beijing Jingyuntong, Seven Star Huaxuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi 'an Jinko Technology, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi 'an Huade, The 48th Institute of China Electronics Technology Group, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic.
2. Kaasufaasin epitaksiaaliuuni
Laitetoiminto: tarjota erityinen prosessiympäristö kaasuvaiheen epitaksiaaliselle kasvulle, toteuttaa ohuiden kerroskiteiden kasvu, jolla on vastaava suhde yksittäisen kristallikidevaiheen kanssa yhdellä kristallilla, ja tehdä perusvalmistus yhden kristallin uppoamisen toiminnalliseen oivaltamiseen. Kaasuvaiheen epitaksia on erityinen kemiallisen höyryn laskeumaprosessi, jossa kasvuohut kerroksen kristallirakenne on jatkoa yksittäiselle kristallisalustalle ja vastaa substraatin kristallisuuntaa.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: CVD Equipment, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Applied Materials.
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: China Electronics Technology Group 48th Institute, Qingdao Cerida, Hefei Kojing Material Technology Co., LTD., Beijing Jinsheng Micro nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., LTD.
3. Molekyylisäteen epitaksijärjestelmä
Laitteen toiminnot: Molekyylisäteen epitaksijärjestelmä, joka tarjoaa prosessilaitteet kalvon kasvattamiseksi pohjapinnalla tietyn mukaisesti; Molekyylisäteen epitaksia (MBEA) on tekniikka yhden kristallin ohuen kalvon valmistamiseen. Sitä käytetään ohuiden kalvojen kasvattamiseen kerros kerrokselta substraatin kristalliakselia pitkin asianmukaisissa substraatissa ja sopivissa olosuhteissa.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: Riber (Ranska), Veeco (USA), DCA Instruments (Suomi), SVTAssociates (USA), NBM (USA), Omicron (Saksa), MBE-Komponenten (Saksa), Oxford Applied (UK) Research (OAR) company.
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Beijing Huidexin Technology Co., LTD., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., LTD., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., LTD.
4. Hapetusuuni (VDF)
Laitteen toiminta: Puolijohdemateriaalin hapettumiskäsittelyssä tarvittava hapettumisilmapiiri puolijohdeoksidaatiokäsittelyprosessin odotetun suunnittelun saavuttamiseksi on välttämätön yhteys puolijohdekäsittelyprosessissa.
Tärkeimmät kansainväliset brändit: UK Thermco Company, Germany Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG yritys.
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Beijing Seven Star Huaxuang, Qingdao Freunde, China Electronics Technology Group 48th institute, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute.
5. Matalapaineinen kemiallinen höyryn laskeumajärjestelmä (LPCVD)
Laitteen toiminta: Kaasumaista tai nestemäistä reaktioainetta sisältävä höyry, joka muodostaa reaktioon tarvittavat kalvon elementit ja muut kaasut, johdetaan LPCVD-laitteen reaktiokammioon, ja kalvo syntyy kemiallisesta reaktiosta substraatin pinnalla.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: Hitachi International Electric Company,
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., LTD., China Electronics Technology Group 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Instrument Factory, Shanghai Machinery Factory.
6. Plasman tehostettu kemiallinen höyryn laskeumajärjestelmä (PECVD)
Laitteen toiminta: käytä hehkupurkausta laskeumakammiossa, tee siitä ionisoiva ja suorita kemiallinen reaktio alustalle puolijohdeohutkalvomateriaalin tallettamiseksi.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: Proto Flex (USA), Tokki (Japani), Shimadsu (Japani), Lam Research (USA), ASM International (Alankomaat).
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Instrument factory, Shanghai Machinery Factory.
7. Magnetron Sputtering -pöytä (MSA)
Laitteen toiminnot: kaksinapaisen sputteroinnin kohdepinnan suuntaisen suljetun magneettikentän ja kohdepinnalle muodostuneen ortogonaalisen sähkömagneettisen kentän kautta sekundaarinen elektroni on sidottu kohdepinnan tiettyyn alueeseen korkean ionitiheyden ja korkean energiaionisauksen saavuttamiseksi, ja kohdeatomit tai molekyylit talletetaan alustalle, jossa on suurinopeussuodatus kalvon muodostamiseksi.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: PVD Company, Vaportech Company, AMAT Company, Hauzer Company, Teer Company, Platit-yhtiö, Balzers-yhtiö ja Cemecon-yhtiö.
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Beijing Instrument Factory, Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., China Electronics Technology Group 48th Institute, Kerui Equipment Co., LTD., Shanghai Machinery Factory.
8. Kemiallinen mekaaninen kiillotuskone (CMP)
Laitteen toiminta: yhdistetyn vaikutuksen mekaanisen hionnan ja kemiallisen nesteen liukenemisen "korroosion" kautta, joka on kaadutettu (puolijohde) kiillotus.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: Applied Materials, Norfa Systems, Rtec.
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Alite Microelectronics.
9, litografiakone
Laitteen toiminta: liimaa tasaisesti puolijohdealustan (piikiekko) pinnalle, siirrä maskin kuvio fotoresistiin ja kopioi laite tai piirirakenne väliaikaisesti piikiekkoon.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: ASML (Alankomaat), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: China Electronics Technology Group 48th Institute, China Electronics Technology Group 45th Institute, Shanghai Machinery Factory, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD.
10. Reaktiivinen ionin etsing-järjestelmä (RIE)
Laitteen toiminnot: korkeataajuuksinen jännite kohdistetaan levyelektrodien väliin tuottamaan ionikerrosta, joka on satoja mikroneja paksu, ja ionin nopea iskukuvio laitetaan kuvioon kemiallisen reaktion syövyttämisen ja fyysisen vaikutuksen saavuttamiseksi sekä puolijohdekäsittelyn ja muovauksen saavuttamiseksi.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: Japan Evatech Company, Yhdysvallat NANOMASTER-yritys, Singapore REC Company, Etelä-Korean JuSung-yritys, Etelä-Korean TES Company.
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., China Electronics Technology Group 48.
11. ICP plasman syövytysjärjestelmä
Laitteen toiminnot: yhtä tai useampia kaasuatomeja tai molekyylejä, jotka on sekoitettu reaktiokammioon ulkoisen energian (kuten radiotaajuuden, mikroaaltouunin jne.) avulla plasman muodostamiseksi, plasman aktiivisen ryhmän ja syövyttävän kemiallisen reaktion pintamateriaalin muodostamiseksi, mikä tuottaa haihtuvia tuotteita; Toisaalta plasman ioneja ohjataan ja nopeutetaan puolueellisuuspaineen alla, jotta voidaan toteuttaa suuntakorroosio ja syövytetyn pinnan kiihtyvä korroosio.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: Oxford Instruments (Uk), Torr (USA), Gatan (USA), Quorum (Uk), Leeman (USA), Pelco (Yhdysvallat).
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Beijing Instrument Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., China Electronic Technology Group 48th Institute, Goder ion Technology (Hong Kong) Holding Co., Ltd., Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, North Microelectronics, Beijing Oriental Jicheng Co., Ltd., Beijing Trands Weina Technology.
12, märkä etsing- ja puhdistuskone
Laitetoiminto: Märkä etsaus on syövytysliuokseen katettu syövytysmateriaali korroosioteknologiaa varten. Puhdistus on vähentää kontaminaatiota, joka voi vaikuttaa laitteen suorituskykyyn, johtaa luotettavuusongelmiin ja vähentää saantoa, joka on puhdistettava perusteellisesti ennen seuraavan prosessin jokaista kerrosta tai ennen seuraavaa kerrosta.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: Screen (Japani), SEMES(Korea), Tokyo Electron (Japani), Lam Research (Amerikka).
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co., LTD., Beijing Qixing Huaxuang Electronics Co., LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute, Taiwan Hongsu.
13. Ioni-implantaatiokone (IBI)
Laitetoiminto: puolijohdepinnan lähellä oleva alue.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. ja Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (AMAT:n hankkima).
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Beijing Instrument Factory, China Electronics Technology Group 48th Institute, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co., LTD., Shanghai Silicon Top Microelectronics Co., LTD.
14, anturin testipenkki
Laitteen toiminta: Kun anturi on kosketuksissa puolijohdelaitteen tyynyyn, suoritetaan sähköinen testi sen tarkastamiseksi, täyttääkö puolijohdearvon suorituskykyvaatimukset.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: Germany Ingun company, QA company, MicroXact company, Ecopia company, Leeno company.
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Ruike Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmei Xieer Technology.
15. Vohvelin harvennuskone
Toiminto: vähennä kiekon paksuutta kiillottamalla.
Kansainväliset pääbrändit: Japan DISCO Company, Saksa G&N-yritys, Japani OKAMOTO-yritys, Israel Camtek -yritys.
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Shenzhen Fonda Grinding Equipment Manufacturing Co., LTD., Shenzhen Jinzhili Precision Grinding Machine Manufacturing Co., LTD., Weianda Grinding Equipment Co., LTD., Shenzhen Huannifeng Technology Co., LTD.
16. Kiekkojen scribing-kone (DS)
Laitteen toiminta: Kiekko, joka on leikattu dien pieniksi paloiksi.
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: Germany OEG company, Japan DISCO Company.
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: Kiinan elektroniikkateknologiaryhmä, Pekingin kechuang aloittamalla lähde valosähköinen teknologia co., LTD., shenyang institute of instrumentation technology, luoteiskone co., LTD., (709 tehdas) on luoteiskonetehdas, hui sheng elektroniset koneet ja laitteet yritys, lanzhou: laser, korkean teknologian teollisuus co., LTD., shenzhen ruby laserlaitteet co., LTD., Wu Hansan worker, zhuhai Lianoptronics, Zhuhai Yuemao Teknologia.
17. Langan sidos
Laitteen toiminto: Liitä puolijohdesirun tyyny tappin tyynyyn johtavalla metallilangalla (kultalangalla).
Tärkeimmät kansainväliset tuotemerkit: American Ottey, German TPT, Austria FK, Malaysia UNISEM.
Tärkeimmät kotimaiset tuotemerkit: China Electronics Technology Group 45th Institute, Beijing Transhijie Technology Development Co., LTD., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Packaging and Testing Co., LTD. (Malesia Yunisan Investment), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., LTD.